氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了普遍应用。氦检仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进人磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦检仪在电阻炉检漏中较常用的两种方法。氦质谱检漏仪被普遍应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。无损氦检仪氦检模块
氦质谱检漏仪检漏时,产生测量误差的主要来源主要包括几个方面:一、氦质谱检漏仪在校准灵敏度时,标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同,即,标准漏孔与被检漏孔至检漏仪的距离相差太大,漏入氦气在途中损失不相等,这会导致经二者进入检漏仪的氦气量可比性差。二、进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等,或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算,这时也会产生漏率测量误差。三、所用标准漏孔的标称漏率有误差。四、氦质谱检漏仪输出指示与漏率的线性关系差。无损氦检仪氦检模块氦检仪自动化程度高;
选购氦检仪的注意事项有哪些?1. 注意检漏需求和设备功能的匹配度,根据现如今产品批量筛选和检查泄露的需求进行研究可以发现,不同的产品检漏操作时所需要的模式等都有着显着的区别,消费者在选购氦检仪时必须要根据产品的检测功能需求进行挑选,例如仪器需要批量检查的需求则必须要确保这种氦检仪的检查速度,立足于自身的需求保证这种氦检仪的功能得以实现才是较正确的挑选方式;2. 注意检测灵敏度和操作模式特点,消费者在挑选这种检测仪器时,必须要分析各种检测仪器的检测模式,确保这种氦检仪以更高的灵敏度和更广阔的检测范围来提高生产的效率,并且在挑选氦检仪时也必须要根据该种产品的灵敏度和口碑进行分析,确保这种氦检仪的精确度更强能够满足于不同产品的检查需求。
氦检仪应用领域:工业:真空炉、镀膜系统、压力容器、超高真空工程。高能物理:加速器、束线、同步辐射光源。科研领域:空间模拟系统、试验装置、微电子、表面分析系统。半导体及电子:工艺设备、气路、气路传输设备、电子元器件、封装。汽车制冷:蒸发器、空调、管路。核工业:核电阀门、核容器。航空航天:空间模拟器、航天器、管路。电厂:管道、蒸汽发生器、热交换器、冷凝器。氦检仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比,具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽,此外氦检仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体,所以安全可靠。氦质谱检漏仪的可检漏率:5×10-12Pa·m3/s。
氦质谱检漏仪为什么会选择氦气作为主要的示漏气体?1、氦气的质量轻,易于穿过漏孔,进入系统时流动和扩散快,因此响应快,检漏灵敏度高。2、氦离子质荷比小,因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大,利于离子分离,可以适当降低对分析器制造精度的要求,使质谱室中氦离子通过的各个缝隙,从而提高氦离子的传输率。3、氦在空气中及残余气体中的含量少,在材料出气中氦气也很少,因此本底压力小,检漏时本底信号小。氦检仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。自动氦气检测设备氦检模块
氦质谱检漏仪的的可检漏率为10-12Pa·m3/s。无损氦检仪氦检模块
氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。无损氦检仪氦检模块
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